光刻膠領(lǐng)域我國取得新突破
作者:探索 來源:綜合 瀏覽: 【大中小】 發(fā)布時間:2025-12-01 04:22:53 評論數(shù):
炒股就看金麒麟分析師研報，光刻權(quán)威，膠領(lǐng)專業(yè)，域國及時，新突全面，光刻助您挖掘潛力主題機會！膠領(lǐng)
來源：科技日報
據(jù)科技日報，域國光刻技術(shù)是新突推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。近日，光刻北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，膠領(lǐng)首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的域國微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，新突指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的光刻產(chǎn)業(yè)化方案。相關(guān)論文近日刊發(fā)于《自然·通訊》。膠領(lǐng)
“顯影”是域國光刻的核心步驟之一，通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。光刻膠如同刻畫電路的顏料，它在顯影液中的運動，直接決定電路畫得準不準、好不好，進而影響芯片良率。長期以來，光刻膠在顯影液中的微觀行為是“黑匣子”，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復(fù)試錯，這成為制約7納米及以下先進制程良率提升的關(guān)鍵瓶頸之一。
為破解難題，研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導(dǎo)體領(lǐng)域。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維“全景照片”，一舉克服了傳統(tǒng)技術(shù)無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。
彭海琳表示，冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構(gòu)與微觀行為，可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率提升。
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